Найти:

Ключевая фраза: анизотропное травление

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «анизотропное травление».
Статьи: 1
01.Применение звуковых колебаний в процессе микроструктурирования поверхности высокоомного монокристаллического кремния (2019)
Сохранить в закладках
Журнал:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Автор(ы):
Кашуба А. С., Пермикина Е. В., Хамидуллин К. А., Драгунов Д. Э., Седяков А. И.