Статья: Влияние кислородных преципитатов на темновой ток кремниевых фотодиодов
Проведено сравнение распределений темновых токов, времени жизни неосновных носителей заряда и микродефектов, выявляемых селективным травлением. Показано, что основной причиной повышенных темновых токов и пониженной фото-чувствительности в кремниевых фотодиодах, изготовленных на кремнии n-типа, изготовленным методом Чохральского, являются генерационно-рекомбинационные процессы на мелких окисных преципитатах.
Информация о документе
- Формат документа
- Кол-во страниц
- 1 страница
- Загрузил(а)
- Лицензия
- —
- Доступ
- Всем
- Просмотров
- 11
Информация о статье
- ISSN
- 2307-4469
- EISSN
- 2949-5636
- Префикс DOI
- 10.51368/2307-4469-2023-11-6-511-514
- Журнал
- Успехи прикладной физики
- Год публикации
- 2023