Статья: Исследование процесса плазмохимического травления диоксида кремния для изготовления изделий МЭМС (2025)

Проведены исследования по воздействию микроволнового излучения на какаовеллу молотую с целью антимикробной обработки продукта. Показано, что при удельной мощности 0,15 кВт/кг на частоте 2,45 ГГц достаточно 20 мин экспозиции СВЧ для подавления роста плесневых грибов и дрожжей, но недостаточно для полной инактивации бактериальных спор. Данный вид обработки можно рекомендовать для деконтаминации какаовеллы с преимущественным загрязнением плесневыми грибами.

Приведены результаты экспериментов по воздействию на клетки модельных биологических мембран уха млекопитающих наносекундными импульсами напряжения различной амплитуды. Описана оригинальная импульсная электрофизическая установка для транспорта отрицательных молекул лекарственных препаратов через биологические мембраны. На основании полученных данных определен диапазон параметров электрического воздействия на жизнеспособность клеток и эффективность транспорта дексаметазона через модель мембраны уха млекопитающих.

Приводятся результаты исследования спектральных характеристик мощности низкочастотного шума от сопротивления резисторов, выполненных по толстопленочной технологии методом принтерной печати, при двух режимах. Первый, при фиксированном напряжении на резисторе U = 3,6 В и второй при фиксированном токе I = 7,8 мА. Показано, что при уменьшении ширины резистивной пленки флуктуации сопротивления и среднеквадратичное значение мощности низкочастотного шума изменяются по квадратичному закону, на основе полученных характеристик спектральной плотности мощности низкочастотного шум. При этом среднеквадратичное амплитудное значение мощности шума увеличивается при фиксированном токе и уменьшается при фиксированном напряжении. С научной точки зрения получен важный результат, который в будущем может использоваться при исследовании механизмов электропроводности и оценки электрофизических параметров резистивных компонентов, а том числе анализе надежности резистивных компонентов на основе низкочастотного шума.

Проведено осаждение пленок оксида меди методом высокочастотного (ВЧ) магнетронного распыления в бескислородной среде при комнатной температуре. Исследовано влияние температуры отжига на воздухе после осаждения на морфологию поверхности, структурные и оптические свойства пленок оксида меди. Показано, что все пленки имеют равномерную нанокристаллическую зернистую структуру. При этом пленки оксида меди, полученные без термического отжига и при температуре отжига 250 С, имеют высокую однородность и состоят из зерен размером порядка 25–30 и 23–27 нм соответственно. При температуре отжига 500 С размер зерен в пленке существенно возрастает до 50–55 нм и они становятся менее однородными. Получено, что все пленки имеют относительно гладкую поверхность со средней шероховатостью в диапазоне от 5,94 до 10,46 нм. Показано, что пленки, полученные без термического отжига, состоят из кристаллической фазой Cu2O, которая полностью переходят в фазу CuO после отжига при температуре 500 С. Установлено, что ширина запрещенной зоны осажденной пленки без термического отжига составляет 2,18 эВ и уменьшается до 1,63 эВ после отжига при температуре 500 С. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов формирования структур солнечных элементов на основе оксида меди

Продемонстрированы результаты варьирования поверхностных энергий пленок восстановленного оксида графена на поверхности оксида индия – олова (ITO) с помощью метода обработки (активации) подложки высокочастотным электрическим полем высокой напряженности. Приведено сравнение значений поверхностных энергий и ИК-спектров при разных толщинах образцов пленки с предварительной активацией подложек полем и без него. Предложенный метод позволяет эффективно наносить пленки оксида графена на ITO, подстраивать их поверхностную энергию под требуемые задачи и варьировать оптические параметры системы, что открывает возможность для его применения в создании жидкокристаллических оптоэлектронных устройств с использованием тонких пленок

Представлены результаты экспериментов по модификации лазерным излучением промышленного нанопорошка диоксида циркония (ZrO2) в чистой воде и водном рас-творе нитрата серебра (AgNO3). Показано, что небольшая добавка AgNO3 в водную суспензию нанопорошка существенно влияет на процесс модификации частиц ZrO2 и их агломератов. Эксперименты подтверждают возможность измельчения и оплавления исходных гранул порошка и одновременного покрытия их поверхностей серебром. Такие модифицированные нано- и микрочастицы могут найти применение в различных диагностических методиках, например, для измерения параметров высокоскоростных газовых потоков и их составов

Приведены исследования по воздействию мощного лазерного излучения на твердо-тельные мишени из редкоземельного элемента Gd в качестве плазмообразующего рабочего вещества с целью получения излучения на длине волны 6,7 нм

Разработан новый метод получения коллоидных квантовых точек селенида свинца с использованием раствора серого селена в децене-1. Исследована зависимость размера, распределения по размерам и спектральных характеристик коллоидных квантовых точек PbSe от температуры реакции. Для образцов проведена характеризация кристаллической фазы и лигандной оболочки. Из полученных образцов были получены тонкие пленки и определена их морфология. Была изучена кинетика замены исходной лигандной оболочки на роданид и йодид анионы в тонких пленках и определено время максимального замещения для исследованных систем. На основе полученных коллоидных материалов на золотых встречно-штыревых электродах была получена фото-чувствительная структура

Рассмотрен принцип работы и надежность фотомодулей (ФМ) формата 102410 элементов на основе кадмий-ртуть-теллура (КРТ), чувствительных в инфракрасном (ИК) диапазоне, предназначенных для построения многорядного крупноформатного фотоприёмного устройства (ФПУ), разработанного для бортовой аппаратуры сканирующего типа, предназначенной для гидрометеорологических исследований и другого гражданского применения в части космического мониторинга Земли. Построена структурная схема надежности ФМ, проведен расчет надежности ФМ, подтверждающий достаточное время безотказной работы ФМ на протяжении более 10 лет на геостационарной орбите (ГСО)

Проведено исследование режимов отжига контактных систем Si-Al и Si-Ti-Al на коэффициент усиления по току биполярных транзисторов n-p-n типа. Показано, что при использовании контактных систем Si-Al требуемые значения коэффициента усиления достигаются при температурах отжига более 400 С, в то время как для системы Si-Ti-Al необходим отжиг при температуре не менее 520 С. Полученные результаты объясняются переходом подслоя Ti в соединения с последующим образованием на поверхности кремния слоя, обогащенного алюминием

Рассмотрен новый неинвазивный диагностический метод получения изображений в эластографии, его принципы действия и клиническое применение, а также преимущества перед обычной ультрасонографией. На основе двумерного вейвлет преобразования построена зависимость поля смещения от поля упругости имитирующая образование злокачественных опухолей. Рассмотрены два типа моделируемых распределений модуля Юнга (с равномерным распределением Гаусса и в форме пересечения двух эллипсов). Сформированы поля смещений с изменяющимся пол глубине ткани модулем упругости. Сформированы 300 реализаций соответствующие каждому типу распределения для обучения разработанной нейронной сети. С помощью нейронной сети построены графические изображения моделируемых тканей с отображением изменения упругости тканей

На основе анализа исследований свечения метеорных потоков, зарегистрированных в международных космических экспериментах «УФ-атмосфера» с 2019 г. и «Терминатор» на Международной космической станции, сделан вывод, что присутствие непрерывно движущиеся к Земле мельчайших частиц метеорных потоков является одной из причин периодического образования серебристых облаков в ограниченных широтах Земли. Анализ показал, что количество зарегистрированных случаев свечения метеоров в УФ области спектра в атмосфере превышает стандартное расчетное зенитное часовое число потоков, а установленная непрерывность и непостоянство частиц (плотности) в потоках кометных хвостов в эпоху активности объясняет регулярность образования и изменчивость структуры серебристых облаков. Регистрация серебристых облаков подтверждает динамичность околоземного пространства