Статья: Электронная томография атомных и молекулярных пучков в молекулярно-лучевой эпитаксии (2020)

Читать онлайн

Представлен конструктивно простой и достаточно универсальный метод определения интенсивностей атомных и молекулярных пучков, основанный на регистрации величины малоуглового рассеяния электронов, возникающих при взаимодействии узкого электронного луча с атомами испаряемого вещества.

Rapid development of molecular beam epitaxy (MBE) in recent decades has led to the emergence of a variety of technological installations, as well as electronic and optical diagnostics of growing layers, as well as atomic and molecular beams. Known methods for monitoring atomic and molecular beams in MBE installations-mass spectrometric and luminescent – involve bulky sensors, which can only be placed in special growth chambers. This paper describes a structurally simple and fairly universal method for determining the intensities of atomic and molecular beams, based on registering the amount of electron scattering at small angles that occur when a narrow electron beam interacts with the atoms of a vaporized substance. We consider the theoretical prerequisites for the diagnosis of an atomic beam by the phenomenon of scattering of fast electrons in it.

Ключевые фразы: молекулярно-лучевая эпитаксия, диагностика, рассеяние электронов, molecular beam epitaxy, diagnosis, electron scattering
Автор (ы): Кульчицкий Николай Александрович
Соавтор (ы): Дирочка Александр Иванович
Журнал: Прикладная физика

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.38. Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы, трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц
eLIBRARY ID
43995280
Для цитирования:
КУЛЬЧИЦКИЙ Н. А., ДИРОЧКА А. И. ЭЛЕКТРОННАЯ ТОМОГРАФИЯ АТОМНЫХ И МОЛЕКУЛЯРНЫХ ПУЧКОВ В МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. № 4
Текстовый фрагмент статьи