Статья: Влияние режимов ионно-лучевого травления на процесс радиационного нагрева CdxHg1-xTe (2018)

Читать онлайн

Представлены расчеты нагрева кристалла CdxHg1-xTe (КРТ) с x = 0,22 в процессе ионнолучевого травления (ИЛТ) низкоэнергетическими ионами Ar+. Показано, что при хорошем тепловом контакте кристалла и охлаждаемого столика установки нагрев КРТ не превышает 0,2 оС. В случае полного отсутствия теплового контакта образца и столика радиационный нагрев кристалла может превышать 120 оС. Проведено сравнение нагрева КРТ в процессе ИЛТ Ar+ и ионной имплантации аргона.

Calculations of heating of the CdxHg1-xTe (MCT) crystal with x = 0.22 during ion etching (IE) by lowenergy Ar+ ions are presented. It is shown that at good thermal contact of the crystal and the cooled installation stage the heating of MCT does not exceed 0.2 °C. In the case of total absence of thermal contact of the sample and the stage radiation heating of the crystal can exceed 120 °C. Comparison of the MCT heating in process of Ar+ IE and argon ion implantation is carried out.

Ключевые фразы: CdHgTe, радиационные дефекты, ионно-лучевое травление, ионная имплантация, инфракрасные фотодетекторы
Автор (ы): Талипов Нияз Хатимович, Войцеховский Александр Васильевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
eLIBRARY ID
35653665
Для цитирования:
ТАЛИПОВ Н. Х., ВОЙЦЕХОВСКИЙ А. В. ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ИОННО-ЛУЧЕВОГО ТРАВЛЕНИЯ НА ПРОЦЕСС РАДИАЦИОННОГО НАГРЕВА CDXHG1-XTE // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №4
Текстовый фрагмент статьи