Архив статей

Прецизионное травление тонких легированных слоев кремния (2017)
Выпуск: №2 (2017)
Авторы: Боровкова Алла Юрьевна, Гришина Татьяна Николаевна, Матюхина Елена Сергеевна

Проведен выбор состава травителя для прецизионного удаления тонкого высоколегированного геттерирующего слоя кремния. Наиболее контролируемый процесс удаления обеспечивает травитель состава HNO3: HF: CH3COOH = 40:1:1. Он позволяет при полном стравливании геттерирующего слоя сохранить требуемую толщину контактного слоя, предотвращающего выход области объемного заряда рп-перехода на тыльную поверхность базы фоточувствительного элемента, обеспечивая тем самым снижение величины темновых токов и увеличение процента выхода годных изделий.

Сохранить в закладках