Учебное пособие «Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем» охватывает разделы: рост кристаллов и подготовка подложек, окисление, диффузия, эпитаксия, литография, рост тонких пленок, общие закономерности технологии интегральных микросхем, сборка и контроль качества полупроводниковых
приборов и интегральных микросхем. Пособие разработано на основе курса лекций, читаемых в течение ряда лет на инженерно-физическом факультете высоких технологий.
Рекомендуется для студентов и инженерно-технических работников, специализирующихся в области микроэлектроники и физики полупроводников.
Пособие предназначено для изучения возможностей,
предоставляемых квантово-химическим пакетом SIESTA, для
моделирования физико-химических свойств материалов. Первая
часть пособия посвящена описанию методов, реализованных в
пакете SIESTA и параметров входного файла, позволяющих
настраивать эти методы для получения более точных результатов.
Во второй части рассматриваются возможности программ «Пре- и
постпроцессор для моделирования свободных и
деформированных углеродных нанотрубок с помощью пакетов
Firefly и Siesta» и XCrysDen по сопровождению расчетов с
помощью пакета SIESTA. В тексте пособия приведены задания
для выполнения самостоятельного численного исследования
свойств углеродных нанотрубок. Подобраны разноплановые
задания, которые позволяют максимально полно исследовать
объект моделирования.
Пособие относится к курсу «Физика наноразмерных систем»
в рамках вариативной части основной образовательной
программы по направлению 03.04.01 «Прикладные математика и
физика».