Рассмотрена методика локального микроанализа элементного состава тонких объектов (пленок) и идентификации микрофаз вещества по характеристическим рентгеновским спектрам. Этот метод позволяет проводить комплексное изучение электронномикроскопических объектов и в настоящее время выделился в самостоятельное направление — электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Область применения метода весьма широка и разнообразна: это металлургия, полупроводниковая электроника, минералогия, биология и т. д. Рассмотрена аппаратура, применяемая для микроанализа тонких пленок, и даны рекомендации по технологии приготовления объектов.
Книга рассчитана на инженерно-технических работников — физиков и металловедов, занимающихся исследованием тонких пленок, микроструктуры тонких слоев и микрочастиц вещества. Может быть полезна студентам соответствующих вузов.
Рассматриваются различные методы сканирующей зондовой микроскопии и их применение в нанотехнологии и диагностике.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника», магистерским образовательным программам «Нанотехнология и диагностика», «Нано- и микросистемная техника» и 210600 «Нанотехнология». Также может служить для повышения квалификацииЬпреподавателей и научных работников.